特許
J-GLOBAL ID：200903048282900686

基板搬送装置及び縦型熱処理装置

発明者：
萩原 順一

萩原 順一 について


出願人/特許権者：
東京エレクトロン株式会社

東京エレクトロン株式会社 について


代理人 (2件)： 絹谷 信雄 ,  金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-007222
公開番号（公開出願番号）：特開2008-177239
出願日： 2007年01月16日
公開日（公表日）： 2008年07月31日
要約：
【課題】基板の大口径化や超大口径化に伴う基板搬送時の基板中央部の自重による撓みを抑制ないし防止する。【解決手段】大口径の基板wの上方又は下方に移動される支持部17と、該支持部17に設けられ基板wの周縁部を掴んで支持する掴み機構28とを有する基板搬送装置において、上記支持部17に、基板の上面中央部又は下面中央部を撓まないように空気層を介して非接触で吸引保持する非接触吸引保持部30を1つ又は複数設け、該非接触吸引保持部30は、上記基板の上面又は下面に対向する平面円形の本体31と、該本体に形成され中央に向って深くなるように傾斜した傾斜面32aを有する凹部32と、該凹部32の中央に設けられ上記傾斜面に沿って流れるように気体を放射状に噴出することにより負圧を発生させるための複数の気体噴出ノズル33と、上記凹部32の周縁部に適宜間隔で形成された気体逃げ溝34とを備えている。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
大口径の基板の上方又は下方に移動される支持部と、該支持部に設けられ基板の周縁部を掴んで支持する掴み機構とを有する基板搬送装置において、上記支持部に、基板の上面中央部又は下面中央部を撓まないように空気層を介して非接触で吸引保持する非接触吸引保持部を1つ又は複数設け、該非接触吸引保持部は、上記基板の上面又は下面に対向する平面円形の本体と、該本体に形成され中央に向って深くなるように傾斜した傾斜面を有する凹部と、該凹部の中央に設けられ上記傾斜面に沿って流れるように気体を放射状に噴出することにより負圧を発生させるための複数の気体噴出ノズルと、上記凹部の周縁部に適宜間隔で形成された気体逃げ溝とを備えたことを特徴とする基板搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/677 ,  H01L 21/68 ,  B65G 49/07
FI (5件)：
H01L21/68 C ,  H01L21/68 F ,  B65G49/07 F ,  B65G49/07 G ,  B65G49/07 H
Fターム (49件)：
5F031CA02 ,  5F031DA08 ,  5F031DA17 ,  5F031FA01 ,  5F031FA07 ,  5F031FA11 ,  5F031FA12 ,  5F031FA20 ,  5F031GA08 ,  5F031GA10 ,  5F031GA13 ,  5F031GA14 ,  5F031GA28 ,  5F031GA32 ,  5F031GA35 ,  5F031GA36 ,  5F031GA47 ,  5F031GA48 ,  5F031GA49 ,  5F031HA61 ,  5F031JA04 ,  5F031JA05 ,  5F031JA06 ,  5F031JA09 ,  5F031JA13 ,  5F031JA15 ,  5F031JA17 ,  5F031JA22 ,  5F031JA23 ,  5F031JA25 ,  5F031JA28 ,  5F031JA29 ,  5F031JA30 ,  5F031JA32 ,  5F031JA35 ,  5F031JA38 ,  5F031KA01 ,  5F031KA11 ,  5F031KA12 ,  5F031KA14 ,  5F031KA20 ,  5F031LA03 ,  5F031LA11 ,  5F031LA12 ,  5F031LA15 ,  5F031MA30 ,  5F031PA13 ,  5F031PA18 ,  5F031PA26
引用特許：
出願人引用 (2件) 審査官引用 (7件)
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