特許
J-GLOBAL ID：201703012894420819

基体のコーティングのための方法および装置

発明者：
ハル・ミヒャエル

ハル・ミヒャエル について

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リヒター・ヒルマー

リヒター・ヒルマー について

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ボサート・シュテファン

ボサート・シュテファン について

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シュトイテン・ラルフ

シュトイテン・ラルフ について

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ゲオルゲ・シュテファン

ゲオルゲ・シュテファン について

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ティッテル・ゼバスティアン

ティッテル・ゼバスティアン について

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シャーデ・ヴェルナー

シャーデ・ヴェルナー について


出願人/特許権者：
ツェーテーエフ・ゾラール・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング

ツェーテーエフ・ゾラール・ゲゼルシャフト・ミト・ベシュレンクテル・ハフツング について


代理人 (4件)： 江崎 光史 ,  鍛冶澤 實 ,  上西 克礼 ,  虎山 一郎
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-553963
特許番号：特許第6117116号
出願日： 2012年02月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 転移温度に加熱された板状のガラス製基体(1)のコーティング方法において、 a)前記基体(1)を転移温度に加熱するステップ、 b)a)と同時および/またはその後に前記基体(1)の下面を前記基体の上面より高い温度に加熱し、ここで基体(1)の下面はローラ(213、214、313、314)上に載せられ、および基体(1)の下面と上面との間の温度差が、基体(1)のたわみに対抗する内部応力を基体(1)内に生じさせるステップ、 c)前記基体(1)の下面上に、少なくとも1種のコーティング材料を蒸着させるステップ、 を特徴とする方法。
IPC (5件)：
C23C 14/54 ( 200 6.01) ,  C23C 14/56 ( 200 6.01) ,  C03C 17/09 ( 200 6.01) ,  C03C 17/22 ( 200 6.01) ,  H01L 51/48 ( 200 6.01)
FI (5件)：
C23C 14/54 D ,  C23C 14/56 G ,  C03C 17/09 ,  C03C 17/22 Z ,  H01L 31/04 180
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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