特許
J-GLOBAL ID:201703013084252037
レーザ加工方法およびレーザ加工装置
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
特許業務法人酒井国際特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-075050
公開番号(公開出願番号):特開2017-185511
出願日: 2016年04月04日
公開日(公表日): 2017年10月12日
要約:
【課題】被加工物とレーザ光学系との三次元での位置合わせを非接触で行う。【解決手段】加工用のレーザ光学系の光軸と平行または同軸な撮像光軸と、前記撮像光軸に対して前記撮像光軸の所定距離の位置で交差する2つの線状光と、を用い、被加工物の所定面上において前記撮像光軸と各前記線状光の交点とを一致させる光軸合わせ工程と、前記被加工物に設定された移動基準点に前記撮像光軸を一致させる基準合わせ工程と、を含む。【選択図】図13
請求項(抜粋):
加工用のレーザ光学系の光軸と同軸または平行な撮像光軸と、前記撮像光軸に対して前記撮像光軸の所定距離の位置で交差する2つの線状光と、を用い、
被加工物の所定面上において前記撮像光軸と各前記線状光の交点とを一致させる光軸合わせ工程と、
前記被加工物に設定された移動基準点に前記撮像光軸を一致させる基準合わせ工程と、
を含む、レーザ加工方法。
IPC (5件):
B23K 26/02
, B23K 26/035
, B23K 26/00
, G01B 11/00
, G01B 11/26
FI (5件):
B23K26/02 A
, B23K26/035
, B23K26/00 M
, G01B11/00 B
, G01B11/26 H
Fターム (29件):
2F065AA03
, 2F065AA06
, 2F065AA35
, 2F065BB05
, 2F065CC08
, 2F065DD03
, 2F065FF04
, 2F065GG04
, 2F065HH05
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065MM04
, 2F065MM07
, 2F065MM08
, 2F065MM09
, 2F065PP04
, 2F065PP05
, 2F065PP13
, 2F065QQ25
, 2F065QQ31
, 4E168BA00
, 4E168CA06
, 4E168CA07
, 4E168CB02
, 4E168CB03
, 4E168CB08
, 4E168CB18
, 4E168JB04
, 4E168KA08
引用特許:
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (5件)
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