特許
J-GLOBAL ID：201703013890962060

液滴供給装置および該液滴供給装置を備える光源

発明者：
ローリンガー, ボブ

ローリンガー, ボブ について

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アブハリ, レザ

アブハリ, レザ について

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ジョヴァンニ, アンドレア, ゼット.

ジョヴァンニ, アンドレア, ゼット. について

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ヘンダーソン, イアン

ヘンダーソン, イアン について


出願人/特許権者：
イーティーエイチ・チューリッヒ

イーティーエイチ・チューリッヒ について


代理人 (3件)： 池田 成人 ,  山口 和弘 ,  野田 雅一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-503017
特許番号：特許第6057221号
出願日： 2012年04月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 液体物質(31)を受け入れるためのリザーバ(11)と、前記リザーバ(11)と流体連通している出口ノズル(17、17a、17b)と、前記出口ノズル(17、17a、17b)における前記液体物質(31)に作用して連続した液滴として前記出口ノズル(17、17a、17b)から出させる圧電駆動手段(29、30、32)とを備える液滴供給装置(10、34a、34b、43)において、 前記圧電駆動手段(29、30、32)が、被駆動ピストン(32)を備え、該被駆動ピストン(32)が、一端において圧電アクチュエータ(29、39)によって駆動され、自由な他端において前記出口ノズル(17、17a、17b)のすぐ上流で前記液体物質(31)に浸漬され、 フィルタ(19)が、前記出口ノズル(17、17a、17b)の上流に設けられていることを特徴とする液滴供給装置。
IPC (2件)：
H05G 2/00 ( 200 6.01) ,  H01L 21/027 ( 200 6.01)
FI (2件)：
H05G 2/00 K ,  H01L 21/30 531 S
引用特許：
出願人引用 (9件)
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審査官引用 (9件)
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