特許
J-GLOBAL ID：200903041819098593

プラズマベースのEUV放射線源用のガスカーテンを生成する装置

発明者：
チン ドゥク トラン

チン ドゥク トラン について

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イェスコ ブルーダーマン

イェスコ ブルーダーマン について

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ビェルン マーダー

ビェルン マーダー について

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ギルベルト ドルニーデン

ギルベルト ドルニーデン について

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トーマス ブラウナー

トーマス ブラウナー について


出願人/特許権者：
イクストリーメ テクノロジース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング

イクストリーメ テクノロジース ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツング について


代理人 (2件)： 藤田 アキラ ,  今井 秀樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-125983
公開番号（公開出願番号）：特開2008-300351
出願日： 2008年05月13日
公開日（公表日）： 2008年12月11日
要約：
【課題】ガスカーテンを生成する装置の簡単な配置と構成並びに長い寿命が極端な熱負荷の際にも可能である、放射プラズマの直接的な近傍でガスカーテンを生成する新たな可能性を見い出す。【解決手段】幅広で平らなガスカーテン(18;19)の生成用の超音波ノズル輪郭部(11)を形成するスリットノズル(1)が複数の部分ボディ(14、15;2)から組み立てられていて、これらの部分ボディが、スリットノズル(1)のガス導入部分(14)及びガス排出部分(15)で熱的な且つ精密機械的な様々な要求を適えるために異なる材料から成ること。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ガスカーテンを生成する少なくとも1つの超音波スリットノズルがデカップル可能な放射線束内に設けられているプラズマベースの放射線源内で放出された放射線をフィルタリングするためのガス流を生成する装置において、 幅広で平らなガスカーテン(18)の生成用の超音波ノズル輪郭部(11)を形成するスリットノズル(1)が複数の部分ボディ(14、15;2)から組み立てられていて、これらの部分ボディがスリットノズル(1)に対する熱的な且つ精密機械的な様々な要求を適えるために異なる材料から成ることを特徴とする装置。
IPC (3件)：
H05G 2/00 ,  H01L 21/027 ,  B05B 1/04
FI (3件)：
H05G1/00 K ,  H01L21/30 531S ,  B05B1/04
Fターム (15件)：
4C092AA04 ,  4C092AB19 ,  4C092AC09 ,  4C092BD18 ,  4C092BD19 ,  4F033AA14 ,  4F033BA01 ,  4F033CA02 ,  4F033DA01 ,  4F033EA01 ,  4F033FA00 ,  5F046GA09 ,  5F046GB01 ,  5F046GB09 ,  5F046GC03
引用特許：
審査官引用 (14件)
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