特許
J-GLOBAL ID：201703015129061028

角速度センサ

発明者：
鄭 希元

鄭 希元 について

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林 雅秀

林 雅秀 について

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山中 聖子

山中 聖子 について


出願人/特許権者：
日立オートモティブシステムズ株式会社

日立オートモティブシステムズ株式会社 について


代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-120738
公開番号（公開出願番号）：特開2014-238317
特許番号：特許第6125914号
出願日： 2013年06月07日
公開日（公表日）： 2014年12月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (a)励振方向と前記励振方向に直交する第1検出方向とを面内に含む裏面を有する基板、 (b)前記基板の前記裏面とは反対側の表面に固定された第1固定部、 (c)第1支持梁を介して前記第1固定部と接続され、かつ、前記励振方向に振動可能な励振素子、 (d)第1検出梁を介して前記励振素子と接続され、かつ、前記第1検出方向に変位可能な第1コリオリ素子、 (e)第2検出梁を介して前記励振素子と接続され、かつ、前記励振方向および前記第1検出方向に直交する第2検出方向に変位可能な第2コリオリ素子、 を備え、 前記励振素子と前記第1コリオリ素子と前記第2コリオリ素子は、同一のデバイス層に形成され、 前記デバイス層は、前記基板の前記裏面と並行するように、前記基板の前記表面の上方に配置され、 前記励振素子は、 (f1)前記励振方向に延在する第1部位、 (f2)前記第1部位と離間しながら前記励振方向に延在する第2部位、 (f3)前記第1部位と前記第2部位とを連結する接続部、 を含み、 平面視において、前記第1コリオリ素子と前記第2コリオリ素子は、前記接続部を挟むように配置され、 前記接続部は、 (g1)前記第1検出方向の中心を通り、前記励振方向に延在する仮想線上に配置された第2固定部であって前記基板に固定された前記第2固定部と、第2支持梁を介して接続され、かつ、前記第1部位と前記第2部位を連結するように前記第1検出方向に延在する第3部位、 (g2)第3支持梁を介して前記第2固定部と接続され、かつ、前記第1部位と前記第2部位を連結するように前記第1検出方向に延在する第4部位、 を含み、 平面視において、前記第3部位と前記第4部位は、前記第2固定部を挟むように配置されている、角速度センサ。
IPC (4件)：
G01C 19/5747 ( 201 2.01) ,  G01C 19/5762 ( 201 2.01) ,  H01L 29/84 ( 200 6.01) ,  B81B 3/00 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G01C 19/574 ,  G01C 19/576 ,  H01L 29/84 Z ,  B81B 3/00
引用特許：
審査官引用 (7件)
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