特許
J-GLOBAL ID:200903010543064549
慣性力センサ
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (3件):
岩橋 文雄
, 内藤 浩樹
, 永野 大介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2006-223807
公開番号(公開出願番号):特開2008-046058
出願日: 2006年08月21日
公開日(公表日): 2008年02月28日
要約:
【課題】複数の検出軸の慣性力を検出でき、各種電子機器の小型化を図れる慣性力センサを提供することを目的としている。【解決手段】第1アーム2を第2アーム4に略直交方向に連結して形成した2つの直交アームと、2つの第1アーム2を支持する支持部6と、支持部6に一端を連結するとともに他端を実装基板(図示せず)に固定する2つの固定用アーム8とを有する検出素子1を備え、第2アーム4には第2アーム4自身と対向するまで折曲した対向部16を設け、第2アーム4の先端部には錘部11を連結し、この錘部11に凹部12を設けるとともにこの凹部12に第2アーム4の先端部を連結した構成である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
慣性力を検出する検出素子を備え、
前記検出素子は、第1アームを第2アームに略直交方向に連結して形成した2つの直交アームと、2つの前記第1アームを支持した支持部と、前記支持部に連結するとともに実装基板に固定した固定用アームと、前記第2アームの先端部に連結した錘部とを備え、前記錘部には凹部を設けるとともに前記凹部に前記第2アームの先端部を連結しており、前記第2アームを対向するまで折曲するとともに前記第2アームの対向方向に前記錘部を駆動振動させる慣性力センサ。
IPC (4件):
G01C 19/56
, G01P 9/04
, H01L 41/08
, H01L 41/18
FI (4件):
G01C19/56
, G01P9/04
, H01L41/08 Z
, H01L41/18 101Z
Fターム (9件):
2F105AA02
, 2F105AA03
, 2F105AA06
, 2F105AA10
, 2F105BB13
, 2F105CC04
, 2F105CD02
, 2F105CD06
, 2F105CD13
引用特許:
出願人引用 (1件)
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-260419
出願人:松下電器産業株式会社
審査官引用 (22件)
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振動ジャイロ用素子及び振動ジャイロ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-299968
出願人:NECトーキン株式会社
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-264518
出願人:株式会社日本自動車部品総合研究所, 株式会社デンソー
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圧電振動体
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-341439
出願人:京セラ株式会社
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圧電単結晶振動子および圧電振動ジャイロ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2006-156839
出願人:NECトーキン株式会社
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運動センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-044639
出願人:ミヨタ株式会社
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運動センサ振動体および振動ジャイロスコープ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平11-297191
出願人:加藤芳明
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音叉型角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-091276
出願人:富川義朗
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-212943
出願人:富士通メディアデバイス株式会社
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振動型ジャイロスコープ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-130523
出願人:アルプス電気株式会社, 富川義朗
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複合センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-350906
出願人:松下電器産業株式会社
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運動センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-005108
出願人:富川義朗, マイクロストーン株式会社
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複合運動センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-240977
出願人:ミヨタ株式会社, 富川義朗
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-027972
出願人:トヨタ自動車株式会社
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角速度センサ及びその使用方法
公報種別:公開公報
出願番号:特願平7-168724
出願人:日本電装株式会社
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振動ジャイロ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平10-151026
出願人:シチズン時計株式会社
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単結晶材料における角速度を測定するための装置
公報種別:公表公報
出願番号:特願平8-526196
出願人:アンダーソンガート
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-201390
出願人:アイシン精機株式会社
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振動ジャイロ
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-143466
出願人:株式会社村田製作所
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慣性センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-099250
出願人:富士通メディアデバイス株式会社, 富士通株式会社
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2002-240075
出願人:松下電器産業株式会社
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角速度センサ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2000-050604
出願人:松下電器産業株式会社
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音叉形圧電振動ジャイロ
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-087657
出願人:NECトーキン株式会社
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