特許
J-GLOBAL ID：201703015394177178
アンモニア及び水素の回収方法及び再利用方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大谷 保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-025081
公開番号（公開出願番号）：特開2014-154792
特許番号：特許第6101958号
出願日： 2013年02月13日
公開日（公表日）： 2014年08月25日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 窒化ガリウム系化合物半導体の製造工程から排出されるアンモニア、水素、及び窒素を含む排ガスに、加圧処理及び冷媒として液化対象と同一のアンモニアを用いたヒートポンプによる冷却処理を行なって、該排ガスに含まれるアンモニアを液化し水素及び窒素と分離してアンモニアを回収し、さらにアンモニア除去処理後の排ガスを加圧し、排ガスに含まれる窒素を液化し水素と分離して水素を回収することを特徴とするアンモニア及び水素の回収方法。
IPC (6件)：
H01L 21/205 ( 200 6.01)
, C23C 16/44 ( 200 6.01)
, F25J 1/00 ( 200 6.01)
, B01D 53/22 ( 200 6.01)
, B01D 71/02 ( 200 6.01)
, F25J 3/06 ( 200 6.01)
H01L 21/205 ZAB
, C23C 16/44 E
, F25J 1/00 D
, B01D 53/22
, B01D 71/02 500
, F25J 3/06
