特許
J-GLOBAL ID：201703015622971718
高周波超音波圧電素子、その製造方法、及びそれを含む高周波超音波プローブ
発明者：
,
,
,
,
出願人/特許権者：
,
,
代理人 (2件)：
井関 勝守
, 金子 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-126268
公開番号（公開出願番号）：特開2017-011144
出願日： 2015年06月24日
公開日（公表日）： 2017年01月12日
要約：
【課題】高精細な超音波画像を得ることを可能にする高周波数で送受可能な圧電素子と、その製造方法を提供する。【解決手段】下部電極11を準備し、下部電極11の上に、ゾルゲル溶液と圧電粉末とを含む複合体をスプレー法により塗布する。その後、塗布された複合体を焼結して圧電膜12を形成する。圧電膜12の上にマスク層13を配設し、マスク層13に圧電膜12を露出する複数の開口部14を形成する。次に、圧電膜12及びマスク層13の上に上部電極15を形成し、その後、マスク層13を除去することにより、開口部14内の圧電膜12の上にのみ上部電極15を残存させる。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
下部電極を準備するステップと、
前記下部電極の上に、ゾルゲル溶液と圧電粉末とを含む複合体をスプレー法により塗布し、前記塗布された複合体を焼結して圧電膜を形成するステップと、
前記圧電膜の上に上部電極を形成するステップとを備えていることを特徴とする高周波超音波圧電素子の製造方法。
IPC (7件)：
H01L 41/318
, H01L 41/29
, H01L 41/43
, H01L 41/09
, H01L 41/047
, H04R 31/00
, H04R 17/00
H01L41/318
, H01L41/29
, H01L41/43
, H01L41/09
, H01L41/047
, H04R31/00 330
, H04R17/00 330H
, H04R17/00 332B
, H04R17/00 330A
4C601EE12
, 4C601EE14
, 4C601GB02
, 4C601GB03
, 4C601GB41
, 4C601GB47
, 5D019AA07
, 5D019AA26
, 5D019BB02
, 5D019BB12
, 5D019BB19
, 5D019BB25
, 5D019BB26
, 5D019BB30
, 5D019FF04
, 5D019HH01
, 5D019HH02
