光位相測定方法、光位相測定装置および光通信装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：鷲田公一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-538203
特許番号：特許第6202499号
出願日： 2013年09月27日
請求項（抜粋）：

【請求項1】物体光に含まれる位相情報を測定する光位相測定方法であって、第1光強度検出部および第2光強度検出部において、試験物体光の強度分布を検出する工程と、物体光と干渉しうる参照光の位相を変化させて、互いに位相が異なる第1参照光および第2参照光を生成する工程と、前記第1光強度検出部において、前記第1参照光の強度分布を検出するとともに、前記第2光強度検出部において、前記第2参照光の強度分布を検出する工程と、前記物体光および前記第1参照光から第1ホログラムを生成するとともに、前記物体光および前記第2参照光から第2ホログラムを生成する工程と、前記第1光強度検出部において、前記第1ホログラムの強度分布を検出するとともに、前記第2光強度検出部において、前記第2ホログラムの強度分布を検出する工程と、前記第1ホログラムの強度分布から前記第1光強度検出部において検出された前記試験物体光の強度分布または前記第1参照光の強度分布を除去することなく、かつ前記第2ホログラムの強度分布から前記第2光強度検出部において検出された前記試験物体光の強度分布または前記第2参照光の強度分布を除去することなく、前記第1光強度検出部において検出された前記試験物体光の強度分布、前記第1参照光の強度分布および前記第1ホログラムの強度分布、ならびに前記第2光強度検出部において検出された前記試験物体光の強度分布、前記第2参照光の強度分布および前記第2ホログラムの強度分布を直接用いて、前記物体光に含まれる位相情報を算出する工程と、を有する、光位相測定方法。

IPC (5件)：

G01B 9/02 ( 200 6.01) , G01J 9/02 ( 200 6.01) , G03H 1/10 ( 200 6.01) , H04B 10/2507 ( 201 3.01) , H04B 10/2581 ( 201 3.01)

FI (5件)：

G01B 9/02 , G01J 9/02 , G03H 1/10 , H04B 10/250 , H04B 10/258

引用特許：

出願人引用 (6件)

干渉縞画像の補正方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平11-136832 出願人：株式会社ミツトヨ
干渉装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-011918 出願人：キヤノン株式会社
位相シフト量測定装置及び透過率測定装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-339148 出願人：レーザーテック株式会社

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