特許
J-GLOBAL ID：201703016677631084
マルチノズルを有するガス注入システム、並びに、それを備えた粒子光学機器及びその使用方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
, 大貫 進介
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-031711
公開番号（公開出願番号）：特開2016-156092
特許番号：特許第6151395号
出願日： 2016年02月23日
公開日（公表日）： 2016年09月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 粒子光学機器の真空チャンバに、少なくとも2つの流体を適用するガス注入システム(GIS)であって、
2または3以上のチャネルを有し、
各チャネルは、第1の側で、流体を保持する対応するリザーバに接続され、他方の側に対応する出口開口を有し、
各出口開口は、内部に流通するガスをノズルを介して、個々に当該GISの外部に導出するように構成され、
前記出口開口の一つは、別の出口開口と同心であり、
第1のチャネルは、当該GISを位置合わせする配置ユニットに接続され、
少なくとも一つの他のチャネルは、前記第1のチャネルに脱着可能に取り付けられることを特徴とする、GIS。
IPC (2件)：
C23C 16/455 ( 200 6.01)
, H01L 21/285 ( 200 6.01)
C23C 16/455
, H01L 21/285 C
