レーザー光照射装置及び光学部材貼合体の製造装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：棚井澄雄 , ▲廣▼保直純 , 荒則彦 , 加藤広之 , 五十嵐光永
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-058978
公開番号（公開出願番号）：特開2014-186056
特許番号：特許第6199585号
出願日： 2013年03月21日
公開日（公表日）： 2014年10月02日
請求項（抜粋）：

【請求項1】対象物を保持する保持面を有するテーブルと、レーザー光を発振するレーザー光発振機と、前記保持面と平行な平面内で前記レーザー光を2軸走査するスキャナーと、前記対象物を照明する照明装置と、前記テーブルと前記照明装置とを相対移動する第1移動装置と、前記テーブルと前記スキャナーとを相対移動する第2移動装置と、前記対象物を撮像する撮像装置と、前記テーブルと前記撮像装置とを相対移動する第3移動装置と、を含むレーザー光照射装置。

IPC (2件)：