特許
J-GLOBAL ID：201703018581590088
形状測定装置、形状測定方法および形状測定プログラム
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
福島 祥人
, 中川 雅博
, 澤村 英幸
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-173706
公開番号（公開出願番号）：特開2016-200607
特許番号：特許第6161775号
出願日： 2016年09月06日
公開日（公表日）： 2016年12月01日
請求項（抜粋）：
【請求項1】測定対象物が載置されるステージと、
前記ステージに載置された測定対象物に周期的な投影パターンを有する測定光を位相シフトさせつつ複数回照射するように構成される投光部と、
測定対象物により反射された光を受光し、受光量を示す受光信号を出力するように構成される受光部と、
前記受光部により出力された受光信号に基づいて、測定対象物の画像データを生成し、測定対象物の立体形状を示す立体形状データを生成するように構成されるデータ生成部と、
測定条件選択時に、第1および第2の測定条件の各々において測定対象物の画像データまたは立体形状データを生成するように、前記投光部、前記受光部および前記データ生成部を制御する制御部と、
測定条件選択時に、前記第1および第2の測定条件にそれぞれ対応する画像データまたは立体形状データに基づいて、測定対象物の画像を表示するように構成される表示部と、
測定条件選択時に、前記表示部に表示された前記第1および第2の測定条件にそれぞれ対応する画像に基づいて前記第1および第2の測定条件のいずれかを選択するために使用者により操作される操作部とを備え、
前記第1の測定条件においては、第1の投影パターンを有する測定光が予め定められた第1の回数だけ測定対象物に照射され、
前記第2の測定条件においては、前記第1の投影パターンとは異なる第2の投影パターンを有する測定光が前記第1の回数とは異なる予め定められた第2の回数だけ測定対象物に照射され、
前記制御部は、形状測定時に、前記操作部の操作により選択された測定条件で立体形状データが生成されるように前記投光部、前記受光部および前記データ生成部を制御する、形状測定装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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