特許
J-GLOBAL ID：201703018844705306

光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法

発明者：
豊田 光紀

豊田 光紀 について


出願人/特許権者：
株式会社ニコン

株式会社ニコン について


代理人 (5件)： 大野 聖二 ,  小林 英了 ,  加藤 真司 ,  鈴木 守 ,  大谷 寛
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-165058
公開番号（公開出願番号）：特開2016-026306
特許番号：特許第6160666号
出願日： 2015年08月24日
公開日（公表日）： 2016年02月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 照明光により物体を照明する照明光学装置であって、 旋光性を有する光学材料で形成され、前記光学材料の光学軸の方向が当該照明光学装置の光軸の方向と一致するように前記照明光の光路に配置されて、前記光学材料の旋光性によって前記照明光の偏光方向を回転させる旋光部材と、 前記照明光の光路のうち前記旋光部材と当該照明光学装置の瞳面との間の光路に配置されたオプティカルインテグレータと、を備え、 前記旋光部材は、前記旋光部材に入射する前記照明光のうち前記光軸と直交する方向に関して互いに異なる位置を通過する第1光束及び第2光束の偏光方向を互いに異なる角度回転可能なように、前記光軸の方向に関する前記旋光部材の厚さのうち前記第1光束の光路中の第1厚さと前記第2光束の光路中の第2厚さとが互いに異なる厚さに設定される、照明光学装置。
IPC (3件)：
G03F 7/20 ( 200 6.01) ,  G02B 19/00 ( 200 6.01) ,  G02B 5/30 ( 200 6.01)
FI (4件)：
G03F 7/20 501 ,  G03F 7/20 521 ,  G02B 19/00 ,  G02B 5/30
引用特許：
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (18件)
  • 露光装置および露光方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-345162   出願人：日本電気株式会社
  • 光束変換素子、照明光学装置、露光装置、および露光方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2014-158994   出願人：株式会社ニコン
  • 投影露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-201650   出願人：株式会社ニコン
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