特許
J-GLOBAL ID：201703018897518621
試料観察方法、試料前処理方法、および荷電粒子線装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
戸田 裕二
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-067834
公開番号（公開出願番号）：特開2014-190892
特許番号：特許第6116965号
出願日： 2013年03月28日
公開日（公表日）： 2014年10月06日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 観察対象に荷電粒子線を照射することにより得られる信号を検出して観察対象の画像を取得する試料観察方法であって、
注入機構が有する先端部を観察対象に挿し、注入機構内部にあるイオン液体を、注入機構の先端を介して観察対象に注入することを特徴とする試料観察方法。
IPC (5件)：
G01N 23/22 ( 200 6.01)
, G01N 23/225 ( 200 6.01)
, G01N 23/04 ( 200 6.01)
, G01N 1/28 ( 200 6.01)
, G01N 1/30 ( 200 6.01)
G01N 23/22 310
, G01N 23/225 310
, G01N 23/225 320
, G01N 23/04
, G01N 1/28 F
, G01N 1/30
