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J-GLOBAL ID：201802269400227003   整理番号：18A0632829

新しい非蒸発ゲッター(NEG)コーティングの応用と評価

著者 (16件)： 宮澤徹也 (総合研究大学院大) ,  栗原真志 (横浜国大 工) ,  大野真也 (横浜国大 工) ,  寺島矢 (弘前大 理工) ,  夏井祐人 (弘前大 理工) ,  加藤博雄 (弘前大 理工) ,  狩野悠 (東京理大 理工) ,  中山泰生 (東京理大 理工) ,  加藤良浩 (入江工研) ,  橋本綾子 (物質・材料研究機構) ,  松本益明 (学芸大) ,  WILDE Markus (東大 生産技研) ,  福谷克之 (東大 生産技研) ,  菊地貴司 (KEK 物構研) ,  間瀬一彦 (総合研究大学院大) ,  間瀬一彦 (KEK 物構研)
資料名： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
巻： 65th  ページ： ROMBUNNO.19a-F214-11  発行年： 2018年03月05日 
JST資料番号： Y0054B  ISSN： 2436-7613  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

シソーラス用語： *ゲッタポンプ ,  ゲッタリング ,  加速器 ,  薄膜成長 ,  チタン ,  パラジウム ,  排気 ,  行為
準シソーラス用語： 非蒸発性ゲッタ

分類 (1件)： 真空技術  (BA02020L)

タイトルに関連する用語 (5件)： 蒸発 ,  ゲッター ,  コーティング ,  応用 ,  評価