特許
J-GLOBAL ID：201803001133391942
微小電気機械共振器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (4件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
, 江口 昭彦
, 内藤 和彦
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2017-562753
公開番号（公開出願番号）：特表2018-522461
出願日： 2016年06月19日
公開日（公表日）： 2018年08月09日
要約：
【課題】 例えば温度安定化かつ損耗耐性を図ることである。【解決手段】 基材と、運動可能な微細機械加工部材と、を有するMEMS装置において、機械的構造が、運動可能な微細機械加工部材を基材に固定し、運動可能な微細機械加工部材を基材から断熱し、且つ、少なくとも300°Cの温度への運動可能な微細機械加工部材の加熱を可能にするべく伝導経路を提供している。【選択図】 図1A
請求項（抜粋）：
微小電気機械システム(MEMS)装置であって、
基材と、
運動可能な微細機械加工部材と、
前記運動可能な微細機械加工部材を前記基材に固定し、前記運動可能な微細機械加工部材を前記基材から断熱し、且つ、少なくとも300°Cの温度への前記運動可能な微細機械加工部材の加熱を可能にするべく伝導経路を提供する機械的構造と、
を含む装置。
IPC (3件)：
H03H 9/24
, H03H 3/02
, B81B 3/00
H03H9/24 Z
, H03H3/02 B
, B81B3/00
3C081AA01
, 3C081AA04
, 3C081BA11
, 3C081BA22
, 3C081BA33
, 3C081BA44
, 3C081BA48
, 3C081BA55
, 3C081BA79
, 3C081DA25
, 3C081DA26
, 3C081EA22
, 5J108BB08
, 5J108KK07
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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