遮蔽格子の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：阿部琢磨 , 黒岩創吾
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-107876
公開番号（公開出願番号）：特開2013-050439
特許番号：特許第6245794号
出願日： 2012年05月09日
公開日（公表日）： 2013年03月14日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 X線タルボ干渉法による撮像装置に用いられる遮蔽格子の製造方法であって、基板の第1の面に複数の凹部を形成する工程と、前記複数の凹部に金属を充填してX線を遮蔽する遮蔽部を構成する金属構造体を形成する工程と、前記基板にエッチング処理を施し、前記金属構造体を露出させる工程と、前記露出した金属構造体を湾曲した形状に変形させる工程と、前記変形した金属構造体に樹脂を塗布し、前記樹脂を固化して樹脂層を形成する工程と、を有することを特徴とする遮蔽格子の製造方法。

IPC (1件)：