特許
J-GLOBAL ID:201803001522260110

熱電変換装置の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 特許業務法人ゆうあい特許事務所
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2016-199297
公開番号(公開出願番号):特開2018-060971
出願日: 2016年10月07日
公開日(公表日): 2018年04月12日
要約:
【課題】表面導体パターンと裏面導体パターンとの間の接続信頼性を向上させる。【解決手段】複数枚の樹脂フィルム30のそれぞれにおいて、複数の熱電材料粒子を含む充填材36を、複数の貫通孔32のそれぞれに充填する。このとき、貫通孔32の外部に充填材36の一部361a、362aがはみ出した状態とする。この状態で、複数枚の樹脂フィルム30同士を積層する。さらに、表面導体パターン16が形成された表面保護部材20を複数枚の樹脂フィルム30の一方側に積層する。裏面導体パターン18が形成された裏面保護部材22を複数枚の樹脂フィルム30の他方側に積層する。これにより、積層体40を形成する。その後、積層体40を加熱加圧する。これにより、複数の熱電材料粒子同士を焼結させて、第1、第2熱電部材を形成する。【選択図】図9
請求項(抜粋):
熱電変換装置の製造方法であって、 複数の貫通孔(32)が形成された複数枚の絶縁フィルム(30)を用意することと、 前記複数枚の絶縁フィルムのそれぞれにおいて、複数の熱電材料粒子を含む充填材(36)を、前記複数の貫通孔のそれぞれに充填することと、 前記充填材の充填後に、前記複数枚の絶縁フィルム同士を積層するとともに、前記複数枚の絶縁フィルムの全部に対する積層方向の一方側に第1導体膜(16)を積層し、前記複数枚の絶縁フィルムの全部に対する積層方向の他方側に第2導体膜(18)を積層して、積層体(40)を形成することと、 前記積層体の積層方向に前記積層体を加熱加圧して、前記複数の熱電材料粒子同士を焼結させて、前記第1導体膜から前記第2導体膜まで連続した形状の熱電部材(12、14)を形成するとともに、前記熱電部材を前記第1導体膜と前記第2導体膜の両方に接続させることとを備え、 前記充填することにおいては、前記複数の貫通孔のそれぞれにおいて、前記貫通孔の外部に前記充填材の一部(361a、362a)がはみ出し、前記貫通孔の内部に前記充填材の他の一部(361b、362b)が配置された状態とし、 前記積層体を形成することにおいては、前記充填材の前記一部がはみ出した状態で、前記複数枚の絶縁フィルム同士を積層する熱電変換装置の製造方法。
IPC (2件):
H01L 35/34 ,  H01L 35/32
FI (2件):
H01L35/34 ,  H01L35/32 A
引用特許:
出願人引用 (5件)
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