特許
J-GLOBAL ID：201803002975562253
試料処理装置内で材料の選択された体積の存在を検出するためのシステム及び方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (6件)：
青木 篤
, 石田 敬
, 古賀 哲次
, 蛯谷 厚志
, 胡田 尚則
, 出野 知
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-511569
特許番号：特許第6235462号
出願日： 2012年05月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 試料処理装置を処理する方法であって、該方法が:
検出チャンバを含む試料処理装置を用意し;
該試料処理装置を、回転軸を中心として回転させ;そして
該試料処理装置を回転させながら、該検出チャンバ内に材料の選択された体積が存在するかどうかを判定する
ことを含み、該検出チャンバ内に材料の選択された体積が存在するかどうかを判定することが、選択された位置で該検出チャンバに光学的に問い合わせることにより、該材料が該選択された位置に存在するかどうかを判定することを含み、
該検出チャンバに光学的に問い合わせることが、該回転軸に対する複数の半径方向位置で光モジュールによって該検出チャンバに光学的に問い合わせることを含み、
該光モジュールがガントリ上の該試料処理装置に対して相対的に動作可能に位置決めされている、試料処理装置を処理する方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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