特許
J-GLOBAL ID:201803006232904163
搬送システム
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (4件):
吉田 稔
, 臼井 尚
, 土居 史明
, 鈴木 伸太郎
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-167626
公開番号(公開出願番号):特開2015-037098
特許番号:特許第6309220号
出願日: 2013年08月12日
公開日(公表日): 2015年02月23日
請求項(抜粋):
【請求項1】 各々がワークを載置する第1載置部および第2載置部と、ワークを保持する保持部を含むロボットと、を用いる搬送システムであって、
前記ワークの画像であり、且つ、前記第1載置部に載置されたワークの状態を示すワーク画像を撮像する画像撮像部と、
前記第1載置部に対するワークの予定載置位置に関する予定載置位置情報を記憶する第1記憶部と、
前記予定載置位置に対する、前記第1載置部に載置されたワークのずれ量を算出するずれ量算出部と、を備え、
前記ずれ量算出部は、前記ワーク画像と、前記予定載置位置情報と、に基づき、前記ずれ量を算出し、
前記ワークは、前記ワークの厚さ方向に直交する方向を向く複数の端面を有し、
前記ワークの前記複数の端面のいずれかに向けて光を照射する光照射源を更に備え、
前記画像撮像部は、前記光照射源から照射されて前記端面にて反射した光を受け、
前記光照射源は、前記ワークにおける前記複数の端面のうち、第1端面と、前記ワークにおける前記複数の端面のうち、第2端面と、前記第1端面および前記第2端面によって構成される第1稜線に向けて光を照射する、搬送システム。
IPC (3件):
H01L 21/677 ( 200 6.01)
, B25J 13/08 ( 200 6.01)
, B65G 49/06 ( 200 6.01)
FI (3件):
H01L 21/68 A
, B25J 13/08 A
, B65G 49/06 Z
引用特許:
出願人引用 (6件)
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自動基板処理システム
公報種別:公表公報
出願番号:特願2000-550138
出願人:エーケーティー株式会社
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基板位置補正装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-195853
出願人:株式会社ニコン
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基板状態検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-242479
出願人:川崎重工業株式会社
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審査官引用 (6件)
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自動基板処理システム
公報種別:公表公報
出願番号:特願2000-550138
出願人:エーケーティー株式会社
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基板位置補正装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平4-195853
出願人:株式会社ニコン
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基板状態検出装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2004-242479
出願人:川崎重工業株式会社
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