特許
J-GLOBAL ID：201803007654620504

MEMSガスセンサ

発明者：
吉岡 謙一

吉岡 謙一 について

, 
井澤 邦之

井澤 邦之 について

, 
大戸 亀久美

大戸 亀久美 について


出願人/特許権者：
フィガロ技研株式会社

フィガロ技研株式会社 について


代理人 (2件)： 塩入 明 ,  塩入 みか
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-272571
公開番号（公開出願番号）：特開2015-127642
特許番号：特許第6327635号
出願日： 2013年12月27日
公開日（公表日）： 2015年07月09日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 Si基板の空洞部上に設けた架橋部もしくはダイアフラムに、ガス検出材料とヒータとが設けられているMEMSチップと、 貫通孔を有するフィルタチップを備え、 前記フィルタチップの前記貫通孔上に、フィルタとフィルタを再生するためのフィルタ用ヒータとが取り付けられ、かつ前記貫通孔がMEMSチップの架橋部もしくはダイアフラムに面するように、前記フィルタチップが前記MEMSチップ上に取り付けられ、 さらにハウジングに前記MEMSチップが固定されると共に、前記ハウジングにフィルタチップが収容されているMEMSガスセンサ。
IPC (1件)：
G01N 27/12 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G01N 27/12 B
引用特許：
出願人引用 (14件)
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審査官引用 (11件)
  • NOxセンサ
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-077533   出願人：いすゞ自動車株式会社
  • 検知素子
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-317383   出願人：松下精工株式会社
  • ガスセンサとガス検出装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2011-117796   出願人：フィガロ技研株式会社
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