特許
J-GLOBAL ID：201203081324073710

ガスセンサとガス検出装置

発明者：
井澤 邦之

井澤 邦之 について

, 
吉岡 謙一

吉岡 謙一 について

, 
北川 千純

北川 千純 について


出願人/特許権者：
フィガロ技研株式会社

フィガロ技研株式会社 について


代理人 (2件)： 塩入 明 ,  塩入 みか
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-117796
公開番号（公開出願番号）：特開2012-247240
出願日： 2011年05月26日
公開日（公表日）： 2012年12月13日
要約：
【構成】 シリコン基板表面の絶縁膜にヒータを備えるガス検知部が設けられ、ガス検知部の周囲で絶縁膜の底部に空洞が設けられ、シリコン基板がハウジングに収容されている。ハウジングに有機溶媒の吸着剤と有機溶媒の酸化触媒とが、ハウジングの外側から内側へ吸着剤、酸化触媒の順に設けられ、被検出雰囲気を吸着剤と酸化触媒とを介してガス検知部へ導くようにされている。【効果】 有機溶媒による被毒を防止できる。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
シリコン基板表面の絶縁膜にヒータを備えるガス検知部が設けられ、前記ガス検知部の周囲で前記絶縁膜の底部に空洞が設けられ、前記シリコン基板がハウジングに収容されているガスセンサにおいて、 前記ハウジングに有機溶媒の吸着剤と有機溶媒の酸化触媒とが、ハウジングの外側から内側へ吸着剤、酸化触媒の順に設けられ、被検出雰囲気を前記吸着剤と前記酸化触媒とを介してガス検知部へ導くようにされていることを特徴とする、ガスセンサ。
IPC (1件)：
G01N 27/12
FI (1件)：
G01N27/12 B
Fターム (12件)：
2G046AA19 ,  2G046BA01 ,  2G046BB02 ,  2G046BB04 ,  2G046BD01 ,  2G046BD05 ,  2G046BD06 ,  2G046BE01 ,  2G046BE08 ,  2G046BH01 ,  2G046FE31 ,  2G046FE38
引用特許：
審査官引用 (9件)
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