試料観察装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：岡野卓也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-233865
公開番号（公開出願番号）：特開2018-091676
出願日： 2016年12月01日
公開日（公表日）： 2018年06月14日
要約：

【課題】本発明は、試料の光学的性質の観察に用いる試料観察装置であって、試料全体を一度に観察することができる試料観察装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明は、試料を照明する光源及び試料照明光路上に位置する第1偏光板を基台内部に有し、試料が載置される第1透明板を前記基台の上壁として有する試料載置部と、前記基台に立設される支柱を含む支持部と、前記支持部に前記第1透明板と平行な面内で回動可能に支持され、前記第1透明板の上方であって試料観察光路中に挿脱可能とされる第2偏光板を含む観察部と、から構成され、前記第2偏光板の前記試料観察光路中への挿脱によりクロスニコルとオープンニコルを切り替えて、前記試料観察光路上方から前記第1透明板上に載置される試料の全体観察を可能とすることを特徴とする。【選択図】図3

請求項（抜粋）：

試料を照明する光源及び試料照明光路上に位置する第1偏光板を基台内部に有し、試料が載置される第1透明板を前記基台の上壁として有する試料載置部と、前記基台に立設される支柱を含む支持部と、前記支持部に前記第1透明板と平行な面内で回動可能に支持され、前記第1透明板の上方であって試料観察光路中に挿脱可能とされる第2偏光板を含む観察部と、から構成され、前記第2偏光板の前記試料観察光路中への挿脱によりクロスニコルとオープンニコルを切り替えて、前記試料観察光路上方から前記第1透明板上に載置される試料の全体観察を可能とすることを特徴とする試料観察装置。

IPC (3件)：

G01N 21/21 , G02B 21/00 , G02B 21/06

FI (3件)：

G01N21/21 Z , G02B21/00 , G02B21/06

Fターム (18件)：

2G059AA02 , 2G059AA05 , 2G059BB08 , 2G059BB14 , 2G059EE01 , 2G059EE05 , 2G059FF01 , 2G059GG02 , 2G059HH02 , 2G059JJ11 , 2G059JJ19 , 2G059JJ26 , 2G059KK07 , 2H052AA01 , 2H052AB01 , 2H052AC05 , 2H052AC25 , 2H052AC33

引用特許：

審査官引用 (10件)

歪検査器
公報種別：公開公報出願番号：特願2014-022837 出願人：株式会社ルケオ
端面検査装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2010-227306 出願人：株式会社ニコン
顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-001674 出願人：オリンパス株式会社

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