特許
J-GLOBAL ID：201803008540066007

ベース板にカバーの位置を合わせる機構を備えたレチクルポッド

発明者：
リスタッド,ジョン

リスタッド,ジョン について

, 
コルボウ,スティーブン,ピー

コルボウ,スティーブン,ピー について


出願人/特許権者：
インテグリス・インコーポレーテッド

インテグリス・インコーポレーテッド について


代理人 (2件)： 園田・小林特許業務法人 ,  特許業務法人岡田国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-537837
特許番号：特許第6322638号
出願日： 2013年10月17日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板やレチクルを格納するためのレチクル運搬容器であって、 協同して筐体を形成する上側部材と下側部材を含む外側ポッド組立品と、基板やレチクルを保管するための内側ポッド組立品とを含み、内側ポッド組立品が外側ポッド組立品の筐体内に格納できるようになっており、 内側ポッド組立品がカバーとベースと位置合わせ機構を含み、カバーとベースの中心の位置が一本の中心軸に合わせて同じになっており、その中心軸を軸方向とし、 位置合わせ機構は、カバーとベースのうちの一方に設けられた穴が形成された構造と、この穴に配置される位置合わせピンと、カバーとベースのうちの他方の端に面した位置に形成したガイドとなる窪みとを含み、そのガイドとなる窪みが稜線のある段状の壁を備えており、位置合わせピンが軸方向に動くときにその稜線がピンと線接触か点接触できるようになっており、 カバーとベースを組み合わせると位置合わせピンがガイドとなる窪みの位置に来るようになっており、カバーとベースの位置合わせのためにカバーをベースに向かって軸方向に動かすときにガイドとなる窪みで位置合わせピンを案内できるようになっているもの。
IPC (3件)：
G03F 1/66 ( 201 2.01) ,  H01L 21/673 ( 200 6.01) ,  B65D 85/86 ( 200 6.01)
FI (3件)：
G03F 1/66 ,  H01L 21/68 T ,  B65D 85/38 R
引用特許：
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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