ダイヤモンドを合成する方法、マイクロ波発生装置及びプラズマ処理装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：速水進治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-221524
公開番号（公開出願番号）：特開2018-080352
出願日： 2016年11月14日
公開日（公表日）： 2018年05月24日
要約：

【課題】ダイヤモンドの合成に不要なラジカルの発生を抑えつつダイヤモンドを合成する。【解決手段】プラズマ処理装置20は、マイクロ波発生装置10及び処理室310を備えている。マイクロ波発生装置10は、発振器110及びソリッドステートパワーアンプ(SSPA)152を備えている。発振器110は、マイクロ波を発生可能である。SSPA152は、発振器110から発生したマイクロ波を増幅する。処理室310には、炭素含有ガスが供給される。さらに、処理室310には、SSPA152から出力されたマイクロ波が送られる。これにより、処理室310内では、プラズマPが発生する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

ダイヤモンドを合成する方法であって、以下を含む: 発振器からマイクロ波を発生させること; 前記発振器から発生したマイクロ波をソリッドステートパワーアンプによって増幅すること; 処理室に炭素含有ガスを供給し、前記ソリッドステートパワーアンプから出力されたマイクロ波を前記処理室に送り、前記処理室内でプラズマを発生させること。

IPC (4件)：

C23C 16/27 , H05H 1/46 , C23C 16/511 , H01L 21/205

FI (4件)：

C23C16/27 , H05H1/46 B , C23C16/511 , H01L21/205

Fターム (27件)：

2G084AA02 , 2G084AA05 , 2G084BB11 , 2G084BB21 , 2G084BB35 , 2G084CC14 , 2G084CC33 , 2G084DD44 , 2G084DD48 , 2G084DD51 , 2G084DD53 , 2G084DD55 , 2G084DD61 , 2G084EE01 , 2G084EE06 , 2G084HH28 , 2G084HH29 , 4K030AA10 , 4K030AA18 , 4K030BA27 , 4K030BA28 , 4K030BB02 , 4K030FA01 , 4K030KA30 , 5F045AA09 , 5F045AB07 , 5F045EH01

引用特許：

審査官引用 (8件)

電力合成器およびマイクロ波導入機構
公報種別：公開公報出願番号：特願2008-072192 出願人：東京エレクトロン株式会社
成膜装置用高周波電力供給装置
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-175020 出願人：三菱重工業株式会社
ダイヤモンドNV光学中心を有するダイヤモンド単結晶
公報種別：公開公報出願番号：特願2013-040653 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所

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