特許
J-GLOBAL ID：201803011630009372
新規の熱処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
園田・小林特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-164422
公開番号（公開出願番号）：特開2017-041637
特許番号：特許第6290997号
出願日： 2016年08月25日
公開日（公表日）： 2017年02月23日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電磁エネルギーパルスを合成する装置であって、
第1のエネルギー入力と、
第2のエネルギー入力と、
前記第1のエネルギーに第1の光学特性を与える第1の光学系と、
前記第2のエネルギーに第2の光学特性を与える第2の光学系と、
前記第1の光学特性および前記第2の光学特性に基づいてエネルギーを反射または透過する選択面と、
第1のエネルギーパルスを前記選択面の第1の側にある第1の場所に誘導し、第2のエネルギーパルスを前記選択面の前記第1の側の反対側の前記選択面の第2の側にある第2の場所に誘導する合成誘導光学系であって、前記第1の場所と前記第2の場所が位置合わせされる、合成誘導光学系と、
前記選択面に光学的に結合される診断モジュールと
を備える装置。
IPC (2件)：
H01L 21/268 ( 200 6.01)
, H01L 21/20 ( 200 6.01)
H01L 21/268 J
, H01L 21/268 T
, H01L 21/268 G
, H01L 21/20
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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