特許
J-GLOBAL ID：201803011876313305

測定装置

発明者：
中務 貴司

中務 貴司 について


出願人/特許権者：
株式会社キーエンス

株式会社キーエンス について


代理人 (3件)： 福島 祥人 ,  中川 雅博 ,  澤村 英幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-127057
公開番号（公開出願番号）：特開2018-004282
出願日： 2016年06月27日
公開日（公表日）： 2018年01月11日
要約：
【課題】計測すべき箇所を容易に指定することができる測定装置を提供する。【解決手段】投光部110および受光部120を含むヘッド部190が設置部161と固定的に連結される。ステージ140上の測定対象物Sにパターンを有する測定光が照射され、測定対象物Sにより反射された測定光が受光部120により受光される。受光信号に基づいて測定対象物Sの点群データが生成される。点群データに基づいて、測定対象物の画像を立体画法により平面上に表す立体形状画像データが生成される。また、測定対象物Sが一定の画角で撮像されることによりリアルタイムでの測定対象物Sの画像を表すライブ画像データが取得される。立体形状画像データは、第1および第2の条件の少なくとも一方が満たされるように生成される。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
ステージ保持部と、 前記ステージ保持部により保持され、測定対象物が載置されるステージと、 前記ステージに載置された測定対象物にパターンを有する測定光を照射する投光部と、前記測定対象物により反射された測定光を受光して受光量を示す受光信号を出力する受光部と、前記ステージ上に載置された測定対象物を一定の画角で撮像することによりリアルタイムでの前記測定対象物の画像をライブ画像として表すライブ画像データを取得する撮像部とを含むヘッド部と、 前記投光部から前記測定対象物に対して測定光が斜め下方に導かれ、かつ前記受光部の光軸が前記測定対象物に向かって斜め下方に延びるように、前記ヘッド部と前記ステージ保持部とを固定的に連結する連結部と、 前記受光部から出力される受光信号に基づいて、前記測定対象物の立体形状を表す点群データを生成する点群データ生成手段と、 前記点群データ生成手段により生成された点群データに基づいて、前記測定対象物の画像を立体画法により平面上に立体形状画像として表す立体形状画像データを生成する立体形状画像データ生成手段と、 前記立体形状画像データ生成手段により生成された立体形状画像データにより表される立体形状画像上で計測すべき箇所の指定を受け付け、前記点群データ生成手段により生成された点群データに基づいて、指定された箇所の計測値を算出する計測手段とを備え、 前記立体形状画像データ生成手段は、第1および第2の条件の少なくとも一方を満たすように前記立体形状画像データを生成し、前記第1の条件は、前記測定対象物が前記立体画法のうち透視画法により平面上に前記立体形状画像として表され、当該立体形状画像の消失点の位置が前記ライブ画像の消失点の位置と一致することであり、前記第2の条件は、前記立体形状画像における測定対象物の向きが前記ライブ画像における測定対象物の向きと一致することである、測定装置。
IPC (2件)：
G01B 11/25 ,  G06T 7/00
FI (2件)：
G01B11/25 H ,  G06T7/00 300F
Fターム (31件)：
2F065AA01 ,  2F065AA24 ,  2F065AA51 ,  2F065AA53 ,  2F065DD03 ,  2F065DD06 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065HH07 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ19 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065MM04 ,  2F065PP11 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ31 ,  2F065RR06 ,  2F065SS02 ,  5L096AA09 ,  5L096EA14 ,  5L096FA14 ,  5L096FA66 ,  5L096FA67 ,  5L096FA69 ,  5L096GA30 ,  5L096JA03 ,  5L096JA11
引用特許：
審査官引用 (6件)
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM