特許
J-GLOBAL ID：201803013021333115
角形金型用基板
発明者：
,
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
小島 隆司
, 重松 沙織
, 小林 克成
, 石川 武史
, 正木 克彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-221290
公開番号（公開出願番号）：特開2015-029032
特許番号：特許第6252098号
出願日： 2013年10月24日
公開日（公表日）： 2015年02月12日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板上に凹凸によるパターンを形成して使用される角形の金型用の基板であって、凹凸によるパターンを形成して使用される面(A面)とこのA面と反対側の面(B面)とを有し、前記A面の中心の1〜50mm×1〜50mm角範囲であって、かつ凹凸によるパターンが形成される領域の平坦度が350nm以下であり、
前記角形金型用基板のA面の中心の1〜50mm×1〜50mm角範囲であって、かつ凹凸によるパターンが形成される領域から基板のA面と反対側のB面までの距離t1’と、基板のA面の中心1〜50mm×1〜50mm角を除く範囲から基板のB面までの距離t1が、t1’>t1であり、かつ
前記A面の中心の1〜50mm×1〜50mm角範囲であって、かつ凹凸によるパターンが形成される領域の平均平面と、前記B面の中心50〜100mm角を除く範囲の平均平面とが、概平行であることを特徴とする角形金型用基板。
IPC (3件)：
H01L 21/027 ( 200 6.01)
, B29C 59/02 ( 200 6.01)
, C03C 19/00 ( 200 6.01)
H01L 21/30 502 D
, B29C 59/02 ZNM B
, C03C 19/00 Z
