特許
J-GLOBAL ID：201803013536787127
第5族金属オキソ-アルコキソ錯体、その製造方法及び第5族金属酸化物膜の作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-268109
公開番号（公開出願番号）：特開2014-141473
特許番号：特許第6240494号
出願日： 2013年12月25日
公開日（公表日）： 2014年08月07日
請求項（抜粋）：
【請求項1】一般式(1A)
(式中、Mはニオブ原子又はタンタル原子を表す。)または一般式(1B)
(式中、Mはニオブ原子を表す。)で示される第5族金属オキソ-アルコキソ錯体。
IPC (5件)：
C07C 31/28 ( 200 6.01)
, C07C 29/68 ( 200 6.01)
, C01G 33/00 ( 200 6.01)
, C01G 35/00 ( 200 6.01)
, C07F 9/00 ( 200 6.01)
C07C 31/28
, C07C 29/68
, C01G 33/00 A
, C01G 35/00 D
, C07F 9/00 Z
