特許
J-GLOBAL ID：201803014160523189

感光性樹脂組成物及びそれより調製される硬化膜

発明者：
ジョン-ホ・ナ

ジョン-ホ・ナ について

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クン・ホ

クン・ホ について

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ジン・クォン

ジン・クォン について

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ジョン・ハン・ヤン

ジョン・ハン・ヤン について


出願人/特許権者：
ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド

ローム・アンド・ハース・エレクトロニック・マテリアルズ・コリア・リミテッド について


代理人 (1件)： 特許業務法人センダ国際特許事務所
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-518606
公開番号（公開出願番号）：特表2018-533761
出願日： 2016年09月22日
公開日（公表日）： 2018年11月15日
要約：
感光性樹脂組成物及びそれから調製された硬化膜が本明細書に開示される。本感光性樹脂組成物は、強い撥水性を有するフッ素原子を含むシロキサンポリマーを、一般的なシロキサンポリマー及びエポキシ化合物を含む組成物に導入し、フッ素基は、硬化した膜の全領域に存在することができ、これにより、硬化した膜の表面の除去がドライエッチングプロセスにより除去された後でさえも、フッ素成分による撥水性が維持され得る。その結果、後処理で使用される化学物質に対する耐性(化学耐性)が最大化されて、優れた安定性を有する硬化膜を提供することができる。【選択図】なし
請求項（抜粋）：
感光性樹脂組成物であって、 (A)フッ素原子を含むシロキサンポリマーと、 (B)1,2-キノンジアジド化合物と、 (C)エポキシ化合物と、を含む、感光性樹脂組成物。
IPC (3件)：
G03F 7/075 ,  G03F 7/023 ,  G03F 7/20
FI (4件)：
G03F7/075 521 ,  G03F7/023 ,  G03F7/20 501 ,  G03F7/20 521
Fターム (25件)：
2H197CA05 ,  2H197CA09 ,  2H197CA10 ,  2H197CE10 ,  2H197HA03 ,  2H197HA04 ,  2H197HA05 ,  2H197HA10 ,  2H197JA22 ,  2H225AC22 ,  2H225AE13P ,  2H225AF01P ,  2H225AM10P ,  2H225AM85P ,  2H225AM99P ,  2H225AN39P ,  2H225AN54P ,  2H225AP01P ,  2H225BA22P ,  2H225BA32P ,  2H225CA22 ,  2H225CA24 ,  2H225CB06 ,  2H225CC03 ,  2H225CC21
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (5件)
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