特許
J-GLOBAL ID：200903005693058900
感光性樹脂組成物、それから形成された硬化膜、および硬化膜を有する素子
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-226395
公開番号（公開出願番号）：特開2007-041361
出願日： 2005年08月04日
公開日（公表日）： 2007年02月15日
要約：
【課題】高硬度、高解像度、高耐熱性、高透明性、低誘電率性の特性を有する、TFT基板用平坦化膜、層間絶縁膜、あるいは光導波路のコアやクラッド材の形成に用いられる高感度のポジ型感光性樹脂組成物を提供する。 【解決手段】(a)シロキサンポリマー、(b)キノンジアジド化合物、(c)シリカ微粒子、(d)溶剤を含有する感光性樹脂組成物。【選択図】 なし
請求項（抜粋）：
(a)シロキサンポリマー、(b)キノンジアジド化合物、(c)数平均粒子径が2〜200nmのシリカ微粒子(d)溶剤を含有する感光性樹脂組成物。
IPC (4件)：
G03F 7/004
, G03F 7/022
, G03F 7/027
, G03F 7/075
G03F7/004 501
, G03F7/022
, G03F7/027 502
, G03F7/075 521
2H025AA02
, 2H025AA10
, 2H025AA20
, 2H025AB14
, 2H025AB20
, 2H025AC01
, 2H025AD03
, 2H025BC40
, 2H025BE00
, 2H025CB33
, 2H025CC08
, 2H025CC20
, 2H025FA29
出願人引用 (14件)
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特許第2933879号明細書(請求項1)
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特許第2700655号明細書(請求項1)
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国際公開00/12640号パンフレット(請求項1)
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審査官引用 (3件)
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