特許
J-GLOBAL ID：201803017032753189
高度なデバイスのウェハ上の粒子性能に対して化学的適合性のあるコーティング材料
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
安齋 嘉章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-524461
特許番号：特許第6275713号
出願日： 2013年07月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 Al、Al2O3、又はSiCのうちの少なくとも1つの本体と、
本体上のセラミックスコーティングであって、セラミックスコーティングは、約50モル%〜約75モル%の範囲内のY2O3と、約10モル%〜約30モル%の範囲内のZrO2と、約10モル%〜約30モル%の範囲内のAl2O3とを含む化合物を含み、1インチ当たりのノジュールの数が約30ノジュール〜約45ノジュールの範囲内であり、空孔率が約2.5%〜約3.2%の範囲内である半導体処理チャンバ用物品。
IPC (3件)：
H01L 21/3065 ( 200 6.01)
, C23C 4/10 ( 201 6.01)
, C23C 4/12 ( 201 6.01)
H01L 21/302 101 G
, H01L 21/302 101 H
, C23C 4/10
, C23C 4/12
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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