特許
J-GLOBAL ID：201803017393694250
ウェーハ-ハンドリング・エンドエフェクタ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
杉村 憲司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-107770
公開番号（公開出願番号）：特開2018-157221
出願日： 2018年06月05日
公開日（公表日）： 2018年10月04日
要約：
【課題】撓んだウエーハを搬送するエンドエフェクタを提供する。【解決手段】エンドエフェクタ100は、エンドエフェクタ本体110とエンドエフェクタ本体によって支持され、かつ、ウェーハ50との少なくとも部分的な対面接触を形成するように構成される複数のウェーハ接触面120とを含む。エンドエフェクタは、さらに、エンドエフェクタ本体のロボット近位端112と複数のウェーハ接触面との間に延在する真空分配マニホールド180を含む。エンドエフェクタは、複数のウェーハ接触面内に画定され、かつ、複数のウェーハ接触面と真空分配マニホールドとの間に延在する複数の真空開口部190も含む。エンドエフェクタはさらに、複数の密封構造体を含み、各密封構造体は複数のウェーハ接触面のそれぞれ1つに関連付けられている。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ウェーハを搬送するように構成されるエンドエフェクタであって、前記エンドエフェク
タは、
ロボット近位端およびロボット遠位端を画定するエンドエフェクタ本体と、
複数のウェーハ接触面であって、前記複数のウェーハ接触面の各々は、
(i)前記エンドエフェクタ本体によって支持され、
(ii)前記ウェーハとの少なくとも部分的な対面接触を形成するように構成され、
(iii)少なくとも実質的に剛性であり、かつ、
(iv)少なくとも実質的に平面状である、複数のウェーハ接触面と、
前記ロボット近位端と前記複数のウェーハ接触面との間に延在する真空分配マニホール
ドと、
前記複数のウェーハ接触面内に画定され、かつ、前記複数のウェーハ接触面と前記真空
分配マニホールドとの間に延在する複数の真空開口部であって、前記複数のウェーハ接触
面のうちのそれぞれのウェーハ接触面のウェーハ接触表面積は、前記それぞれのウェーハ
接触面において画定される前記複数の真空開口部のうちのそれぞれの真空開口部の断面積
の少なくとも3倍である、複数の真空開口部と、
複数の密封構造体であって、前記複数の密封構造体の各々は、前記複数のウェーハ接触
面のそれぞれ1つに関連付けられ、かつ、その周りに延在する、複数の密封構造体と、
を備えるエンドエフェクタ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/68 B
, B25J15/08 Z
3C707AS24
, 3C707DS01
, 3C707ES17
, 3C707FS01
, 3C707FU04
, 3C707NS13
, 5F131AA02
, 5F131CA07
, 5F131DA32
, 5F131DA33
, 5F131DA42
, 5F131DB06
, 5F131DB22
, 5F131DB32
, 5F131DB34
, 5F131DB99
