特許
J-GLOBAL ID：201803018281020058
集積回路レイアウト中にグループ制約を割り当てるためのシステムおよび方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：
蔵田 昌俊
, 福原 淑弘
, 井関 守三
, 岡田 貴志
, 中丸 慶洋
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-509531
公開番号（公開出願番号）：特表2018-527616
出願日： 2016年07月01日
公開日（公表日）： 2018年09月20日
要約：
マルチパターニングプロセスのためのセルのフィーチャのグループ制約を構成するための方法および装置を提供する。本装置は、回路レイアウト内のフィーチャを決定することと、フィーチャのうちの少なくとも1つのための距離制約を決定することと、距離制約に基づいてフィーチャのためのグループ制約を決定することと、グループ制約は、フィーチャの各々に割当て可能なグループに対する制限を定義する、を行う。さらに、本装置は、複数の当接セルを含む集積回路レイアウトを受信することを行う。本装置は、次いで、第2のセルのグループ制約が第1のセルのグループ制約と競合するのかどうかを決定することと、第2のセルは、第1のセルに当接する、第1のセルのグループ制約に基づいて、および第1のセルのグループ制約と競合する第2のセルのグループ制約に基づいて、第2のセルのグループ制約のサブセットを構成することとを行う。
請求項（抜粋）：
マルチパターニングプロセスのための回路レイアウト中のフィーチャにグループ制約を割り当てる方法であって、
前記回路レイアウト内のフィーチャを決定することと、
前記フィーチャのうちの少なくとも1つのための距離制約を決定することと、
前記距離制約に基づいて前記フィーチャのためのグループ制約を決定することと、前記グループ制約が、前記フィーチャの各々に割当て可能なグループに対する制限を定義する、
前記フィーチャに前記グループ制約を割り当てることと
を備える、方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (5件)：
2H195BB02
, 2H197AB11
, 2H197BA11
, 2H197HA03
, 2H197JA05
