特許
J-GLOBAL ID：200903097492374996
フルチップ設計のパターン分解を行うための方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (2件)：
稲葉 良幸
, 大貫 敏史
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-285523
公開番号（公開出願番号）：特開2009-139938
出願日： 2008年11月06日
公開日（公表日）： 2009年06月25日
要約：
【課題】ダブルパターニングを使用する際に、ウェーハに印刷されるターゲットパターンを複数のパターンに分解するための方法を提供する。【解決手段】ターゲットパターンを複数のパッチにセグメント化し、各パッチ内の最小間隔要件に違反するクリティカルフィーチャを識別した後、クリティカルフィーチャを有する複数のパッチそれぞれについてクリティカルグループグラフを生成するステップ25と、所与のパッチのクリティカルグループグラフが所与のパッチ内のクリティカルフィーチャの着色に割り当てるステップ26と、ノンクリティカルフィーチャを着色/分割するステップ27と、分解プロセスによって生成された2つ(以上)の層でステッチし、OPCを実行するステップ28を含む。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ウェーハに印刷されるフィーチャを含むターゲットパターンを複数のパターンに分解するための方法であって、
前記ターゲットパターンを複数のパッチにセグメント化するステップと、
前記複数のパッチそれぞれについて、各パッチ内の最小間隔要件に違反するクリティカルフィーチャを識別するステップと、
クリティカルフィーチャを有する前記複数のパッチそれぞれについてクリティカルグループグラフを生成するステップであって、所与のパッチの前記クリティカルグループグラフが、前記所与のパッチ内のクリティカルフィーチャの着色体系を画定し、前記クリティカルグループグラフがさらに、前記所与のパッチに隣接するパッチ内に延びるクリティカルフィーチャを識別する、ステップと、
前記ターゲットパターンのグローバルクリティカルグループグラフを生成するステップであって、グローバルクリティカルグループグラフが、前記複数のパッチそれぞれの前記クリティカルグループグラフ及び隣接するパッチ内に延びる前記フィーチャの識別を含む、ステップと、
前記グローバルクリティカルグループグラフによって画定された前記着色体系に基づいて前記ターゲットパターンを着色するステップとを含む方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (5件)：
2H095BA01
, 2H095BA02
, 2H095BB02
, 2H095BB36
, 2H095BC09
