特許
J-GLOBAL ID：201803020233026367
電気-機械変換膜の製造方法、電気-機械変換素子、液体吐出ヘッド、インクジェット記録装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：
伊東 忠重
, 伊東 忠彦
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-246509
公開番号（公開出願番号）：特開2015-106584
特許番号：特許第6287121号
出願日： 2013年11月28日
公開日（公表日）： 2015年06月08日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 一方の面に第1の電極が形成された基板の、前記第1の電極の表面を撥液化する撥液化処理工程と、
撥液化された前記第1の電極の表面に、形成する電気-機械変換膜及びアライメントマークの形状に応じて照射位置を移動させながら、エネルギー線を照射するエネルギー線照射工程と、
前記エネルギー線照射工程においてアライメントマークの形状に応じてエネルギー線を照射した部分を含む領域にインクジェット法により塗布溶液を塗布するアライメントマーク形成工程と、
前記アライメントマーク形成工程において形成されたアライメントマークに基づいて、印刷位置を検出する印刷位置検出工程と、
前記エネルギー線照射工程において電気-機械変換膜の形状に応じてエネルギー線を照射した部分にインクジェット法によりゾル-ゲル液を塗布する電気-機械変換液膜形成工程と、を有し、
前記アライメントマーク形成工程において塗布する前記塗布溶液は、前記電気-機械変換液膜形成工程において塗布する前記ゾル-ゲル液と同一である電気-機械変換膜の製造方法。
IPC (3件)：
H01L 41/318 ( 201 3.01)
, H01L 41/331 ( 201 3.01)
, H01L 41/09 ( 200 6.01)
H01L 41/318
, H01L 41/331
, H01L 41/09
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (7件)
全件表示
前のページに戻る
