特許
J-GLOBAL ID：201803021453226789
レーザ剥離装置、レーザ剥離方法、及び有機ELディスプレイの製造方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
家入 健
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-246571
公開番号（公開出願番号）：特開2018-024014
出願日： 2016年12月20日
公開日（公表日）： 2018年02月15日
要約：
【課題】基板から剥離層を均一に分離することができるレーザ剥離装置を提供することである。【解決手段】一実施の形態によれば、基板11と当該基板11上に形成された剥離層12とを少なくとも備えるワーク10に対して、基板11側から基板11と剥離層12との界面にレーザ光16を照射して剥離層12を基板11から剥離するレーザ剥離装置1であって、ワーク10上に気体35を吹き付け、ワーク10表面に存在する粉塵を吹き飛ばす噴射ユニット22と、レーザ光16の照射位置と対応する位置に開口部52を有し、吹き飛ばされた粉塵を開口部52から吸引して集塵する集塵ユニット23と、を備える。【選択図】図7
請求項（抜粋）：
基板と当該基板上に形成された剥離層とを備えるワークにレーザ光を照射して前記剥離層を前記基板から剥離するレーザ剥離装置であって、
前記ワーク上に気体を吹き付ける噴射ユニットと、
前記レーザ光の照射位置と対応する位置に開口部を有し、前記開口部から吸引して粉塵を集塵する集塵ユニットと、を備える、
レーザ剥離装置。
IPC (3件)：
B23K 26/57
, B23K 26/142
, B23K 26/16
B23K26/57
, B23K26/142
, B23K26/16
4E168AD00
, 4E168CB07
, 4E168CB15
, 4E168DA04
, 4E168DA25
, 4E168EA24
, 4E168FB03
, 4E168FB05
, 4E168FC01
, 4E168FC04
, 4E168JB03
出願人引用 (7件)
全件表示
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
