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J-GLOBAL ID：201902243842082877   整理番号：19A2813640

有機金属分解(MOD)法によるナノ構造無機化合物薄膜の成膜技術

著者 (2件)： 菅原徹 (大阪大 産科研) ,  渡邊厚介 (名古屋工大 大学院工学研究科)
資料名： 塗装工学  (Journal of Japan Coating Technology Association)
巻： 54  号： 11  ページ： 404-409  発行年： 2019年11月30日 
JST資料番号： S0871A  ISSN： 0285-3787  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 電子デバイスを印刷法によって製造する(PE:Printed Electronics)技術は,次世代の電子デバイス製造技術として,近年,精力的に研究されている。その中でも,溶液プロセスによるセラミックス成膜技術は,機能性材料の薄膜として利用する次世代の省エネ・省資源・低コストプロセスとして非常に注目を集めている。本稿では,太陽電池の緩衝層やガスセンサなどの応用に向けた有機金属分解(MOD)法による酸化物コーティングと印刷法によって作製する技術を解説する。(著者抄録)

シソーラス用語： *溶液成長 ,  *薄膜成長 ,  ナノ構造 ,  製膜 ,  固体素子 ,  電子技術 ,  セラミック膜 ,  バッファ層 ,  ガスセンサ ,  太陽電池 ,  印刷 ,  酸化物 ,  *薄膜
準シソーラス用語： プリンテッドエレクトロニクス ,  *酸化物薄膜 ,  有機金属分解法

分類 (1件)： 酸化物薄膜  (BK14050P)

引用文献 (11件)：

• Katsuaki Suganuma : ‘Introduction to Printed Electronics c 2014’, Springer, 2014, ISBN 978-1-4614-9625-0
• M. Singh, J. Jiu, T. Sugahara, K. Suganuma : Thin-Film Copper Indium Gallium Selenide Solar Cell Based on Low-Temperature All-Printing Process, ACS Appl. Mater. Interfaces 6 18, 16297-16303 (2014)
• T. Araki, T. Sugahara, J. Jiu, S. Nagao, M. Nogi, H. Koga, H. Uchida, K. Shinozaki, K. Suganuma : Cu Salt Ink Formulation for Printed Electronics using Photonic Sintering, Langmuir, 29, 11192 (2013)
• T Sugahara, Y. Hirose, S. Cong, H. Koga, J. Jiu, M. Nogi, S. Nagao, K. Suganuma : Sol-gel-derived High-performance Stacked Transparent Conductive Oxide Thin Films, J. Am. Ceram. Soc. 97, 10, 3238-3243 (2014)
• Shuren Cong, Tohru Sugahara, Tingting Wei, Jinting Jiu, Yukiko Hirose, Shijo Nagao, and Katsuaki Suganuma, Growth and Extension of One-Step Sol-Gel Derived Molybdenum Trioxide Nanorods via Controlling Citric Acid Decomposition Rate, Crystal Growth and Design, 15, 9, 4536-4542 (2015)

タイトルに関連する用語 (7件)： 有機金属 ,  分解 ,  法 ,  ナノ構造 ,  無機化合物 ,  薄膜 ,  成膜