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J-GLOBAL ID：201902276333907753   整理番号：19A2083360

異なる市販ゾルを用いたジルコニウム酸チタン酸鉛薄膜のゾル-ゲル蒸着とキャラクタリゼーション

Sol-Gel Deposition and Characterization of Lead Zirconate Titanate Thin Film Using Different Commercial Sols

著者 (3件)： MORIYAMA Masaaki (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  TOTSU Kentaro (Tohoku Univ., Miyagi, JPN) ,  TANAKA Shuji (Tohoku Univ., Miyagi, JPN)
資料名： Sensors and Materials  (Sensors and Materials)
巻： 31  号： 8 (2)  ページ： 2497-2509  発行年： 2019年 
JST資料番号： L0338A  ISSN： 0914-4935  CODEN： SENMER  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： ゾル-ゲル法は,その良好な均一性と単純性のために,ジルコニウム酸チタン酸鉛(PZT)の主要な蒸着法である。現在では,異なるPZTゾルが商業的に利用可能であり,利用者からはそれらの応用と蒸着ツールに最も良く適合することに関心が持たれている。本研究では,PZT薄膜を種々の市販ゾルを用いて蒸着し,それらの特性を評価し,膜厚,結晶配向,および強誘電特性に関して比較した。650°Cの急速熱アニーリング(RTA)温度と180°Cの乾燥温度がPZTゾルに関係なくスタート条件として適していることを見出した。これらの条件下で,圧電定数d₃₁は75pm/V以上である。これらの条件下で各ユーザにより最適化を効率的に行うことができる。(翻訳著者抄録)

シソーラス用語： *ゾル ,  *ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  *蒸着 ,  *ゾル-ゲル法 ,  *キャラクタリゼーション ,  膜厚 ,  結晶方位 ,  強誘電性 ,  RTA【熱処理】 ,  温度 ,  定数 ,  最適化 ,  圧電定数 ,  乾燥温度 ,  *薄膜蒸着 ,  改変

分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (13件)：

• J. Baborowski: J. Electroceram. 12 (2004) 33.
• S. Koganezawa, Y. Uematsu, T. Yamada, H. Nakano, J. Inoue, and T. Suzuki: IEEE Trans. Magn. 35 (1999) 988.
• J. Lappalainen, J. Frantti, H. Moilanen, and S. Leppävuori: Sens. Actuators, A 46 (1995) 104.
• Y. Yin, H. Ye, W. Zhan, L. Hong, H. Ma, and J. Xu: Sens. Actuators, A 171 (2011) 332.
• Q. Q. Zhang, S. J. Gross, S. Tadigadapa, T. N. Jackson, F. T. Djuth, and S. Trolier-McKinstry: Sens. Actuators, A 105 (2003) 91.

タイトルに関連する用語 (6件)： ゾル ,  ジルコニウム酸チタン酸鉛 ,  薄膜 ,  ゾル-ゲル ,  蒸着 ,  キャラクタリゼーション