ロボット線形駆動熱伝導

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：川守田光紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-230524
公開番号（公開出願番号）：特開2019-068088
出願日： 2018年12月10日
公開日（公表日）： 2019年04月25日
要約：

【課題】真空環境で使用するのに好適なロボットマニュピュレータを提供する。【解決手段】真空環境で使用する基板搬送装置12を構成するアームアッセンブリ25とエンドエフェクタ26に真空壁を介して、非接触にて配電、通信サブシステムを介して給電することにより、真空中での放出ガス等の影響を与えずに、エンドエフェクタ26、アームアッセンブリ25に取り付けられたセンサ、アクチュエータを駆動できる。また、アームアッセンブリ25に冷却サブシステムを組み込むことにより確実に真空中の熱を除去することができる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

回動可能な複数のリンクと、少なくとも一つの基板をその上に支持するように構成されるエンドエフェクタとを有するロボットアームであって、第一環境に位置するように構成されるロボットアームと; 前記ロボットアームに配される少なくとも一つのアクティブ要素と; 前記ロボットアームに配される気密エンクロージャーと; 前記ロボットアームに配される少なくとも一つの電気導体であって、前記気密エンクロージャーを貫通し、前記少なくとも一つのアクティブ要素に接続される、電気導体と; を備え、前記少なくとも一つのアクティブ要素は前記気密エンクロージャー内に配され、前記気密エンクロージャーは、該気密エンクロージャー内に、前記第一環境とは異なる第二環境を形成し、該気密エンクロージャー内において前記少なくとも一つのアクティブ要素を前記第二環境から隔離し; 前記気密エンクロージャーは、前記第二環境を前記第一環境から隔離し続けるために、前記気密エンクロージャーを通る前記少なくとも一つのアクティブ要素の通路を封止し; 前記少なくとも一つの電気導体は、前記複数のリンクの相互の動きを補償する、少なくとも一つの限定回転式フレクシャを備え、それによって、前記複数のリンクの相互の回動によって前記少なくとも一つの電気導体が破損することを防ぐ; 装置。

IPC (2件)：

H01L 21/677 , B25J 19/00

FI (2件)：

H01L21/68 A , B25J19/00 H

Fターム (37件)：

3C707AS24 , 3C707BS15 , 3C707CY04 , 3C707CY27 , 3C707CY34 , 3C707HT02 , 3C707NS13 , 5F131AA02 , 5F131AA03 , 5F131BA03 , 5F131BA04 , 5F131CA09 , 5F131CA32 , 5F131CA70 , 5F131DA02 , 5F131DA32 , 5F131DA33 , 5F131DA36 , 5F131DA42 , 5F131DB03 , 5F131DB12 , 5F131DB23 , 5F131DB43 , 5F131DB44 , 5F131DB52 , 5F131DB58 , 5F131DB62 , 5F131DB82 , 5F131DB92 , 5F131DB99 , 5F131JA03 , 5F131JA12 , 5F131KA03 , 5F131KA23 , 5F131KA72 , 5F131KB12 , 5F131KB32

引用特許：

審査官引用 (7件)

ダイレクト駆動ロボット
公報種別：公開公報出願番号：特願平8-180566 出願人：スマート・マシーンズ・インク
基板搬送装置、基板搬送モジュール、基板搬送方法及び記憶媒体
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-077500 出願人：東京エレクトロン株式会社
搬送ロボットおよびその搬送方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2004-351299 出願人：ローツェ株式会社

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