特許
J-GLOBAL ID:201903003794058450
ベーパーチャンバ、電子機器およびベーパーチャンバ用金属シート
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (6件):
永井 浩之
, 中村 行孝
, 佐藤 泰和
, 朝倉 悟
, 堀田 幸裕
, 山下 和也
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2018-186081
公開番号(公開出願番号):特開2019-070512
出願日: 2018年09月28日
公開日(公表日): 2019年05月09日
要約:
【課題】ベーパーチャンバの製造時に、ベーパーチャンバ内の脱気作業やベーパーチャンバ内への作動液の注入作業を短時間で行うことが可能な、ベーパーチャンバおよびベーパーチャンバ用金属シートを提供する。【解決手段】ベーパーチャンバは、第1金属シートと、第1金属シート上に設けられた第2金属シートと、を備えている。第1金属シートおよび第2金属シートのうち少なくとも一方に、作動液の蒸気が通る複数の蒸気流路凹部が形成され、第1金属シートおよび第2金属シートのうち少なくとも一方に、液状の作動液が通る液流路部が形成されている。第1金属シートおよび第2金属シートのうち少なくとも一方に、液状の作動液を注入する注入流路凹部が形成され、注入流路凹部の幅は、蒸気流路凹部の下側蒸気通路の幅よりも広くなっている。【選択図】図4
請求項(抜粋):
作動液が封入されたベーパーチャンバであって、
第1金属シートと、
前記第1金属シートに積層された第2金属シートと、を備え、
前記第1金属シートおよび前記第2金属シートのうち少なくとも一方に、それぞれ前記作動液の蒸気が通る複数の蒸気通路を含む蒸気流路凹部が形成され、
前記第1金属シートおよび前記第2金属シートのうち少なくとも一方に、液状の前記作動液が通る液流路部が形成され、
前記第1金属シートおよび前記第2金属シートのうち少なくとも一方に、液状の前記作動液を注入する注入流路凹部が形成され、
前記注入流路凹部の幅は、前記蒸気通路の幅よりも広い、ベーパーチャンバ。
IPC (4件):
F28D 15/02
, F28D 15/04
, H01L 23/427
, H05K 7/20
FI (6件):
F28D15/02 101H
, F28D15/04 B
, F28D15/02 102A
, F28D15/02 L
, H01L23/46 B
, H05K7/20 R
Fターム (13件):
5E322AA07
, 5E322AA11
, 5E322AB02
, 5E322AB11
, 5E322DB01
, 5E322DB06
, 5E322DB08
, 5E322EA11
, 5E322FA01
, 5F136CC12
, 5F136CC14
, 5F136CC22
, 5F136FA01
引用特許:
出願人引用 (8件)
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審査官引用 (11件)
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