特許
J-GLOBAL ID：201903010425713211

ガスセンサ素子の製造方法

発明者：
児玉 和俊

児玉 和俊 について


出願人/特許権者：
株式会社デンソー

株式会社デンソー について


代理人 (1件)： 服部 雅紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-076926
公開番号（公開出願番号）：特開2019-184463
出願日： 2018年04月12日
公開日（公表日）： 2019年10月24日
要約：
【課題】センサ素子の検出ばらつきを低減可能なガスセンサ素子の製造方法を提供する。【解決手段】ガスセンサ素子の製造方法は、昇温工程S102と、電流測定工程S103、S107、S109、S111と、調整工程S106、S108、S110と、を備える。昇温工程は、ヒータに通電し、固体電解質層を昇温する。電流測定工程は、第1電極および第2電極に電圧を印加し、限界電流を測定する。調整工程は、限界電流が最終規格範囲内となるように、超短パルスレーザを用いて拡散抵抗層を除去することで、導入経路の距離である拡散距離を調整する。電流測定工程にて限界電流を測定し、限界電流が最終規格範囲内となるように、拡散抵抗層を除去するので、ガスセンサ素子ごとの検出ばらつきを低減することができる。【選択図】図4
請求項（抜粋）：
測定ガス中の特定イオンを伝導可能である固体電解質層(12)、前記固体電解質層の測定ガスが導入される側の面である第1主面(121)に設けられる第1電極(13)、前記固体電解質層の前記第1主面と反対側の面である第2主面(122)に設けられる第2電極(14)、前記第2主面側に設けられ前記固体電解質層を昇温するヒータ(15)、および、前記第1電極が設けられる箇所へ測定ガスを導入する導入経路に設けられ、測定ガスを透過可能である拡散抵抗層(11)を有し、前記特定イオンの濃度差に応じて前記第1電極と前記第2電極との間に流れる電流である限界電流に基づいて前記特定イオンの濃度を検出可能であるガスセンサ素子(10)の製造方法であって、 前記ヒータに通電し、前記固体電解質層を昇温する昇温工程(S102)と、 前記第1電極および前記第2電極に電圧を印加し、前記限界電流を測定する電流測定工程(S103、S107、S109、S111)と、 前記限界電流が所定範囲内となるように、超短パルスレーザを用いて前記拡散抵抗層を除去することで、前記導入経路の距離である拡散距離を調整する調整工程(S106、S108、S110)と、 を備えるガスセンサ素子の製造方法。
IPC (1件)：
G01N 27/41
FI (1件)：
G01N27/41 325L
引用特許：
出願人引用 (7件)
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審査官引用 (7件)
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