特許
J-GLOBAL ID：201903010632704192
振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
増田 達哉
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-150213
公開番号（公開出願番号）：特開2015-023434
特許番号：特許第6482169号
出願日： 2013年07月19日
公開日（公表日）： 2015年02月02日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基部と、振動腕と、を含む基材と、
前記振動腕に配置された、TiNを含む第1電極と、
前記第1電極に対して前記振動腕とは反対側に配置された、TiNを含む第2電極と、
前記第1電極と前記第2電極との間に配置された、AlNを含む圧電体と、
前記第1電極と前記圧電体との間に配置された、SiO2を含む結晶配向調整膜として
の絶縁膜と、を含み、
前記圧電体は、C軸配向性を有する、振動片。
IPC (4件)：
H03H 9/17 ( 200 6.01)
, H03B 5/32 ( 200 6.01)
, H03H 9/02 ( 200 6.01)
, H03H 9/10 ( 200 6.01)
H03H 9/17 E
, H03B 5/32 H
, H03H 9/02 L
, H03H 9/10
