振動片、振動子、発振器及び電子機器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：上柳雅誉 , 須澤修 , 宮坂一彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2011-199121
公開番号（公開出願番号）：特開2013-062643
出願日： 2011年09月13日
公開日（公表日）： 2013年04月04日
要約：

【課題】振動片のQ値の低下の抑制、及びQ値の低下が抑制された振動片を備えた振動子、発振器、電子機器の提供。【解決手段】水晶振動片1は、基部10と、振動腕11a,11b,11cと、振動腕11a,11b,11cに設けられた励振電極12a,12b,12cと、を備え、励振電極12a,12b,12cが、振動腕11a,11b,11cの主面10a側に設けられた第1電極12a1,12b1,12c1と、第1電極12a1,12b1,12c1に対向して設けられた第2電極12a2,12b2,12c2と、第1電極12a1,12b1,12c1と第2電極12a2,12b2,12c2との間に延在する圧電体13と、を有し、第1電極12a1,12b1,12c1及び第2電極12a2,12b2,12c2の少なくとも一方に、ITOを用いていることを特徴とする。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基部と、前記基部から延出している振動腕と、を含む基材と、前記振動腕に設けられている第1電極と、前記第1電極の上方に設けられている第2電極と、前記第1電極と前記第2電極との間に配置されている圧電体と、を有し、前記第1電極及び前記第2電極の少なくとも一方の材料に、ITOを用いていることを特徴とする振動片。

IPC (6件)：

H03H 9/19 , H03H 9/215 , H03B 5/32 , H01L 41/09 , H01L 41/18 , H01L 41/22

FI (10件)：

H03H9/19 L , H03H9/19 J , H03H9/215 , H03B5/32 H , H01L41/08 C , H01L41/08 L , H01L41/08 J , H01L41/18 101A , H01L41/18 101Z , H01L41/22 Z

Fターム (21件)：

5J079AA04 , 5J079BA43 , 5J079FA01 , 5J079HA03 , 5J079HA07 , 5J079HA22 , 5J108BB01 , 5J108BB02 , 5J108CC06 , 5J108CC08 , 5J108DD05 , 5J108EE03 , 5J108EE07 , 5J108EE17 , 5J108FF03 , 5J108FF05 , 5J108GG03 , 5J108GG15 , 5J108GG16 , 5J108HH05 , 5J108JJ04

引用特許：

審査官引用 (10件)

振動片および振動子
公報種別：公開公報出願番号：特願2009-029895 出願人：エプソントヨコム株式会社, セイコーエプソン株式会社
圧電体膜の製造方法及び圧電素子
公報種別：公開公報出願番号：特願2007-206630 出願人：セイコーエプソン株式会社
圧電素子およびその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2003-013934 出願人：独立行政法人産業技術総合研究所

全件表示

前のページに戻る