特許
J-GLOBAL ID：201903011464586258

基板および基板の製造方法

発明者：
林 侑介

林 侑介 について

, 
三宅 秀人

三宅 秀人 について


出願人/特許権者：
国立大学法人三重大学

国立大学法人三重大学 について


代理人 (1件)： 新居 広守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-037571
公開番号（公開出願番号）：特開2019-151520
出願日： 2018年03月02日
公開日（公表日）： 2019年09月12日
要約：
【課題】AlN膜の結晶性を向上し、かつ、反りが低減された基板を提供する。【解決手段】基板1は、サファイア基板2と、前記サファイア基板の第1主面に形成された第1のAlN膜3aと、前記サファイア基板の前記第1主面と反対側の第2主面に形成された第2のAlN膜3bとを備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
サファイア基板と、 前記サファイア基板の第1主面に形成された第1のAlN膜と、 前記サファイア基板の前記第1主面と反対側の第2主面に形成された第2のAlN膜とを備える、 基板。
IPC (5件)：
C30B 29/38 ,  C30B 23/02 ,  C30B 33/02 ,  C23C 14/06 ,  H01L 21/324
FI (5件)：
C30B29/38 C ,  C30B23/02 ,  C30B33/02 ,  C23C14/06 A ,  H01L21/324 X
Fターム (33件)：
4G077AA03 ,  4G077AB08 ,  4G077BE13 ,  4G077DA11 ,  4G077ED04 ,  4G077ED06 ,  4G077EE01 ,  4G077FE19 ,  4G077HA12 ,  4G077SA04 ,  4K029AA07 ,  4K029AA24 ,  4K029BA58 ,  4K029BB04 ,  4K029BB07 ,  4K029BD01 ,  4K029CA06 ,  4K029DC35 ,  4K029DC39 ,  4K029GA01 ,  5F103BB14 ,  5F103BB22 ,  5F103DD01 ,  5F103HH04 ,  5F103LL02 ,  5F103NN01 ,  5F103NN04 ,  5F103NN06 ,  5F103PP03 ,  5F103PP06 ,  5F103PP07 ,  5F103RR01 ,  5F103RR06
引用特許：
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (9件)
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