特許
J-GLOBAL ID：201903014283485785
蒸着マスク及び蒸着マスクの製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
永井 浩之
, 中村 行孝
, 佐藤 泰和
, 朝倉 悟
, 堀田 幸裕
, 岡村 和郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-182841
公開番号（公開出願番号）：特開2019-023350
出願日： 2018年09月27日
公開日（公表日）： 2019年02月14日
要約：
【課題】蒸着マスクの輪郭の位置を精度良く検出することができる、蒸着マスクの提供。【解決手段】蒸着マスクは、貫通孔が形成された第1面20a及び第2面20bと、第1面及び第2面に接続され、蒸着マスクの長手方向における蒸着マスクの輪郭を画定する一対の長側面26と、第1面及び第2面に接続され、蒸着マスクの幅方向における蒸着マスクの輪郭を画定する一対の短側面と、を備える。長側面は、第1面側に位置する第1端部261aと、第2面側に位置するとともに第1端部よりも内側に位置する第2端部261bとを含み、且つ内側へ凹んだ第1部分261を有する。貫通孔は、第1面側に形成された第1凹部と、第2面側に形成され、孔接続部において第1凹部に接続された第2凹部と、を含む。長側面の第1部分の第1端部が、孔接続部よりも第1面側に位置する。【選択図】図10
請求項（抜粋）：
複数の貫通孔が形成された蒸着マスクであって、
前記貫通孔が形成された第1面及び第2面と、
前記第1面及び前記第2面に接続され、前記蒸着マスクの長手方向における前記蒸着マスクの輪郭を画定する一対の長側面と、
前記第1面及び前記第2面に接続され、前記蒸着マスクの幅方向における前記蒸着マスクの輪郭を画定する一対の短側面と、を備え、
前記長側面は、前記第1面側に位置する第1端部と、前記第2面側に位置するとともに前記第1端部よりも内側に位置する第2端部とを含み、且つ内側へ凹んだ第1部分を有し、
前記第1端部は、前記第1面と前記長側面とが接続される第1接続部であって、前記第1面と同一平面上に位置する第1接続部に一致している、蒸着マスク。
IPC (3件)：
C23C 14/04
, H05B 33/10
, H01L 51/50
C23C14/04 A
, H05B33/10
, H05B33/14 A
3K107AA01
, 3K107BB01
, 3K107CC45
, 3K107FF15
, 3K107GG04
, 3K107GG33
, 3K107GG54
, 4K029AA09
, 4K029AA11
, 4K029AA24
, 4K029BA62
, 4K029BB03
, 4K029BD01
, 4K029CA01
, 4K029HA02
, 4K029HA03
