特許
J-GLOBAL ID：201903016363142237
置換サイト計測装置および置換サイト計測方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
青稜特許業務法人
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2018-530225
特許番号：特許第6503145号
出願日： 2016年07月26日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 電子線を試料に照射し、試料から発生するX線をX線検出器で検出することにより結晶の置換サイトを計測する置換サイト計測装置であって、
試料の結晶構造、検出するX線のエネルギーまたはX線の波長、試料の傾斜角度、試料とX線検出器との位置情報を入力する入力部と、
前記入力部に入力した各パラメータから、回折X線の前記X線検出器への入射を算出する回折X線入射算出手段と、
前記回折X線入射算出手段が算出した回折X線の前記X線検出器への入射に応じて、回折X線が前記X線検出器へ入射しないように測定条件を設定する測定条件設定手段と、
電子線の傾斜と同期してX線を検出する電子線傾斜/X線検出制御部と、を備える置換サイト計測装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
引用文献：
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