特許
J-GLOBAL ID：201903017410942928
感光性樹脂組成物、感光性フィルム、パターン形成方法、中空構造の形成方法、及び電子部品
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大谷 保
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-228261
公開番号（公開出願番号）：特開2017-083851
特許番号：特許第6471740号
出願日： 2016年11月24日
公開日（公表日）： 2017年05月18日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (A)少なくとも1つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物と、(B)光重合開始剤とを含有し、(B)光重合開始剤として、オキシムエステル系化合物及び/又はアシルホスフィンオキサイド系化合物を含む、感光性樹脂組成物であって、
前記(A)少なくとも1つのエチレン性不飽和基を有する光重合性化合物が、少なくともアミド基を有するアクリレート化合物又はメタクリレート化合物と、少なくとも一分子中にアクリロイル基又はメタクリロイル基を有するウレタン系化合物とを含有し、
前記(B)光重合開始剤の含有量が、前記(A)光重合性化合物の固形分総量100質量部に対して、0.5〜3質量部である、感光性樹脂組成物。
IPC (7件)：
G03F 7/031 ( 200 6.01)
, G03F 7/027 ( 200 6.01)
, G03F 7/40 ( 200 6.01)
, G03F 7/004 ( 200 6.01)
, G03F 7/20 ( 200 6.01)
, C08F 2/48 ( 200 6.01)
, G03F 7/029 ( 200 6.01)
G03F 7/031
, G03F 7/027 502
, G03F 7/40 501
, G03F 7/004 501
, G03F 7/20 521
, C08F 2/48
, G03F 7/029
