ファブリペロー干渉フィルタ及び光検出装置

発明者： , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：長谷川芳樹 , 黒木義樹 , 柴山健一
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2016-136814
公開番号（公開出願番号）：特開2018-010038
特許番号：特許第6770840号
出願日： 2016年07月11日
公開日（公表日）： 2018年01月18日
請求項（抜粋）：

【請求項1】互いに対向する第1表面及び第2表面を有する多角形板状の基板と、前記第1表面に配置された第1層構造体と、前記第2表面に配置された第2層構造体と、を備え、前記第1層構造体には、空隙を介して互いに対向し且つ互いの距離が可変とされた第1ミラー部及び第2ミラー部が設けられており、前記第2層構造体には、前記第2表面に沿った方向における一方の側と他方の側とに前記第2層構造体の少なくとも一部を分離する分離領域が形成されている、ファブリペロー干渉フィルタ。

IPC (1件)：